химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении

химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении

 

химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при пониженном (по сравнению с атмосферным) давлении
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • LPCVD
  • Low-Pressure Chemical Vapor Deposition


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Нужен реферат?

Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»