химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении

 

химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при пониженном (по сравнению с атмосферным) давлении
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

• полупроводниковые приборы

EN

• LPCVD
• Low-Pressure Chemical Vapor Deposition